DNP、1.4nm世代にも対応可能な回路線幅10nmNIL用テンプレートを開発 - マイナビニュース

大日本印刷は、半導体の回路パターン形成に使用するナノインプリントリソグラフィ向けに、回路線幅10nmのテンプレートを開発したことを発表した。関連キーワードはありません