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1.4nm世代に対応、回路線幅10nmのNIL用テンプレートをDNPが開発:2027年にも量産開始へ

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大日本印刷(DNP)は、回路線幅が10nmのナノインプリントリソグラフィ-(NIL)用テンプレートを開発した。NAND型フラッシュメモリに加え、1.4nm世代相当の先端関連キーワードはありません

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