ラピダスの調達視野…TOPPAN・大日印、半導体向けフォトマスク微細化加速 - ニュースイッチ

大日本印刷（ＤＮＰ）は３ナノメートル相当のフォトマスク製造プロセスを開発した。ＴＯＰＰＡＮとＤＮＰは極端紫外線（ＥＵＶ）マスクの量産体制構築を視野関連キーワードはありません