半導体製造の消費電力10分の１に。大日印・キオクシア・キヤノンが開発する「ＮIＬ」とは？

大日本印刷は装置の仕様値による内部シミュレーションを２０２１年春に実施。回路形成工程における１ウエハー当たり消費電力をＥＵＶ露光使用時と関連キーワードはありません