半導体製造の消費電力を10分の1にする「NIL」量産技術確立へ

大日本印刷は装置の仕様値による内部シミュレーションを2021年春に実施。回路形成工程における1ウエハー当たり消費電力をEUV露光使用時と比較し関連キーワードはありません